РЕКОМЕНДАЦИЯ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ
СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА
ИЗМЕРЕНИЙ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ
ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА
ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ
В ДИАПАЗОНЕ 1 · 10-6 ÷ 50 м
И ДЛИН ВОЛН
В ДИАПАЗОНЕ 0,2 ÷ 50 мкм
МИ 2060-90
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ
КОМИТЕТ СССР ПО УПРАВЛЕНИЮ
КАЧЕСТВОМ ПРОДУКЦИИ И СТАНДАРТАМ
Москва
1991
РЕКОМЕНДАЦИИ
|
РЕКОМЕНДАЦИЯ
Государственная система обеспечения
единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ
СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ
1 · 10-6 ÷ 50 м И ДЛИН ВОЛН
В ДИАПАЗОНЕ
0,2 ÷ 50 мкм
|
МИ 2060-90
|
Дата введения 01.01.91
Настоящая
рекомендация распространяется на государственную поверочную схему для средств
измерений длины в диапазоне 1 · 10-6 ÷ 50
м и длин волн в диапазоне 0,2 ÷ 50 мкм и устанавливает порядок передачи
размеров единиц длины и частоты от единого эталона единиц времени - секунды
(с), частоты - герца (Гц) и длины - метра (м) при помощи вторичных эталонов и
образцовых средств измерений рабочим средствам измерений с указанием
погрешностей и основных методов поверки.
Поверочная схема
состоит из трех частей:
часть 1.
Источники излучений и средства измерений длин волн черт. 1;
часть 2.
Штриховые меры длины и измерители перемещений (черт. 2);
часть 3. Плоскопараллельные
концевые меры длины (черт. 3).
1
ЭТАЛОНЫ
1.1. Единый эталон единиц времени, частоты и длины применяют
для воспроизведения и передачи размеров единиц времени и частоты в соответствии
с ГОСТ 8.129-83 и размеров единиц длины и частоты оптического диапазона
вторичным эталонам методом прямых измерений и сличением при помощи частотного
компаратора и мер сравнения в диапазонах 10 ÷
1000 мм.
1.2. Вторичные эталоны 1-й части
1.2.1. В качестве рабочих эталонов применяют комплекс средств
измерений, состоящий из лазеров, стабилизированных по частоте с использованием
атомных и молекулярных реперов.
1.2.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений SΣ0 рабочих эталонов с единым эталоном единиц времени, частоты
и длины составляют от 3 · 10-11 до 1 ·
10-9
при 100 независимых измерениях.
1.2.3. Рабочие эталоны применяют для передачи размеров
единиц длины и частоты образцовым средствам измерений 1-го и 2-го разрядов
сличением при помощи компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим частотно-стабилизированным
лазерам непрерывного излучения сличением при помощи компаратора.
1.3. Вторичные эталоны 2-й части
1.3.1. В качестве эталонов-копий применяют интерференционные
установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне 0,001 ÷ 1000 мм, с использованием
излучения частотно-стабилизированных лазеров.
1.3.2. Средние квадратические отклонения
результатов сличений SΣ эталонов-копий с государственным первичным эталоном единицы
длины не должны превышать (0,02 + 0,04L) мкм,
где L - длина, м.
1.3.3. Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов
четырехметрового компаратора
с набором штриховых мер длины и геодезических жезлов; образцовых 1-го разряда
штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины и рабочих
измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.
1.3.4. В качестве рабочих эталонов применяют штриховые меры
длины и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне 0,001 - 1000 мм, а также четырехметровый компаратор
с набором штриховых мер длины и геодезических жезлов в диапазоне 1000 ÷
4000 мм.
1.3.5. Доверительные абсолютные погрешности δ рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,99
составляют от (0,03 + 0,1L) до 0,3 мкм.
1.3.6. Рабочие эталоны применяют для поверки образцовых 1-го
разряда штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом
прямых измерений и сличением при помощи компаратора, установок для поверки
измерительных лент - методом прямых измерений.
1.4. Вторичные эталоны 3-й части
1.4.1. В качестве эталонов-копий применяют интерференционные
установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах 0,1
÷ 100 и 100 ÷ 1000
мм, с использованием излучения частотно-стабилизированных лазеров и
спектральных ламп с изотопом кадмия-114.
1.4.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений SΣ эталонов-копий с государственным первичным эталоном
единицы длины не должны превышать (0,01 + 0,04L) мкм.
1.4.3. Эталоны-копии применяют для поверки образцовых 1-го
разряда плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов
методом прямых измерений, а также образцовых 1-го разряда приборов для поверки
средств измерений внутренних размеров сличением при помощи мер сравнения.
1.4.4. В качестве рабочих эталонов применяют интерференционные
установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах 0,1
÷ 100 и 100 ÷ 1000 мм, с использованием излучения
частотно-стабилизированных лазеров, спектральных ламп с изотопом кадмия-114, с естественным криптоном и гелием.
1.4.5. Доверительные абсолютные погрешности δ рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,99 не
должны превышать (0,02 + 0,1L) мкм.
1.4.6. Рабочие эталоны применяют для поверки образцовых 1-го
разряда и рабочих классов точности 00 и 01 плоскопараллельных концевых мер длины в диапазоне 0,1 ÷
1000 мм методом прямых измерений.
2.
ОБРАЗЦОВЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
2.1. Образцовые средства измерений 1-й части
2.1.1. Образцовые
средства измерений 1-го разряда
2.1.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда
применяют спектральные лампы
в диапазоне 0,4 ÷ 0,7 мкм, частотно-стабилизированные лазеры и
измерители длин волн лазеров в диапазоне 0,4 ÷ 11 мкм.
2.1.1.2. Доверительные относительные погрешности δ0 образцовых
средств измерений 1-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от
2 · 10-10 до 7 · 10-8.
2.1.1.3. Образцовые
средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых средств
измерений 2-го разряда и рабочих частотно-стабилизированных лазеров непрерывного
излучения, а также источников излучения, входящих в состав измерителей линейных
перемещений (часть 2), сличением при помощи компаратора, методом прямых
измерений и непосредственным сличением.
2.1.2. Образцовые
средства измерений 2-го разряда
2.1.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда
применяют спектральные лампы и стандартные образцы спектра поглощения и
пропускания в диапазоне 0,2 ÷ 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры
непрерывного излучения, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и
лазерные спектрометры
в диапазоне 0,4 ÷ 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного
излучения в диапазоне 0,4 ÷ 1,2 мкм.
2.1.2.2. Доверительные относительные погрешности δ0 образцовых средств измерений 2-го разряда при доверительной
вероятности 0,99 составляют от 1 · 10-8 до 1 · 10-3.
2.1.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяет для поверки рабочих средств измерений
методом прямых измерений, сличением при помощи
компаратора и непосредственным сличением.
2.2. Образцовые средства измерений 2-й части
2.2.1. Образцовые
средства измерений 1-го разряда
2.2.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда применяют штриховые меры длины,
дифракционные голографические меры длины в диапазоне 0,001 ÷ 1000 мм, установки для поверки измерительных лент в
диапазоне 0,001 ÷ 24 м и кварцевые
геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.
2.2.1.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 1-го разряда при
доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,02 + 0,2L) мкм до (1 + 1L) мкм.
2.2.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для
поверки образцовых 2-го разряда и рабочих средств измерений сличением при
помощи компаратора и методом прямых измерений.
2.2.2. Образцовые
средства измерений 2-го разряда
2.2.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда
применяют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных
перемещений в диапазоне 0,001 ÷ 1000 мм и измерительные
ленты в диапазоне 0,001 ÷ 24 м.
2.2.2.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 2-го разряда при
доверительной вероятности 0,99
составляют от (0,2 + 0,5L) мкм до (2 + 2L) мкм.
2.2.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для
поверки образцовых 3-го и 4-го разрядов и рабочих средств измерений методом
прямых измерений, сличением при помощи компаратора и непосредственным
сличением.
2.2.3. Образцовые
средства измерений 3-го разряда
2.2.3.1. В качестве образцовых средств измерений 3-го разряда применяют
штриховые меры длины, растровые измерительные преобразователи в диапазоне 0,1
÷ 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне 0,001 ÷ 50 м.
2.2.3.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 3-го разряда при
доверительной вероятности 0,99 составляют от (1 + 5L) мкм до (10 + 10L) мкм.
2.2.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда применяют для
поверки образцовых 4-то
разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи компаратора и
непосредственным сличением.
2.2.4. Образцовые
средства измерений 4-го разряда
2.2.4.1. В качестве образцовых средств измерений 4-го разряда применяют
штриховые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000
мм.
2.2.4.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых штриховых мер длины 4-го разряда при
доверительной вероятности 0,99 не должны превышать (20 + 30L) мкм.
2.2.4.3. Образцовые средства измерений 4-го разряда применяют для
поверки рабочих средств измерений непосредственным сличением.
2.3. Образцовые средства измерений 3-й части
2.3.1. Образцовые
средства измерений 1-го разряда
2.3.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда
применяют плоскопараллельные
концевые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм, приборы для поверки
средств измерений внутренних размеров в диапазоне l ÷ 160 мм и кварцевые геодезические
жезлы длиной 1000 и 1200 мм.
2.3.1.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 1-го разряда при
доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,02 + 0,2L) мкм до (0,05 + 0,5L) мкм.
2.3.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для
поверки образцовых 2-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых
измерений и сличением при помощи компаратора.
2.3.2. Образцовые
средства измерений 2-го разряда
2.3.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда
применяют установки для поверки измерительных головок в диапазоне 0,1 ÷ 10 мм, установки для поверки
измерительных преобразователей и приборов в динамическом режиме в диапазоне
0,005 ÷ 0,2 мм, плоскопараллельные
концевые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм, приборы для поверки
средств измерений внутренних размеров в
диапазоне 1 ÷ 200 мм и измерительные
кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм.
2.3.2.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 2-го разряда при доверительной
вероятности 0,99 составляют от 0,04 до 2 мкм и (0,1 + 1L) мкм.
2.3.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для
поверки образцовых 3-го разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи
компаратора и методом прямых измерений.
2.3.3. Образцовые
средства измерений 3-го разряда
2.3.3.1. В качестве образцовых средств измерений 3-го разряда применяют плоскопараллельные
концевые меры длины и измерительные системы
гибких производственных модулей в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм, измерительные кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне 1 ÷ 200 мм.
2.3.3.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 3-го разряда при
доверительной вероятности 0,99
составляют от (0,1 + 1L) до (0,02 + 2L) мкм.
2.3.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда применяют для
поверки образцовых 4-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых
измерений и сличением при помощи компаратора.
2.3.4. Образцовые
средства измерений 4-го разряда
2.3.4.1. В качестве образцовых средств измерений 4-го разряда
применяют плоскопараллельные
концевые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000
мм, приборы для поверки индикаторов и индикаторных нутромеров в диапазоне 0
÷ 10 мм и измерительные кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм.
2.3.4.2. Доверительные абсолютные погрешности δ при доверительной вероятности 0,99 образцовых средств измерений 4-го разряда составляют от
(0,2 + 2L) мкм до (0,5 + 5L) мкм.
2.3.4.3. Образцовые средства измерений 4-го разряда применяют для
поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора.
3.
РАБОЧИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
3.1. Рабочие средства измерений 1-й части
3.1.1. В качестве рабочих средств измерений применяют
спектрометры и спектрофотометры в диапазоне 0,2 ÷ 50 мкм,
частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения - меры длин волн в
диапазоне 0,4 ÷ 11 мкм, измерители длин
волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне 0,4
÷ 11 мкм, измерители длин волн лазеров
импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне 0,4 ÷
1,2 мкм.
3.1.2. Доверительные относительные погрешности δ0 частотно-стабилизированных лазеров повышенной
точности и стабильности при доверительной вероятности 0,99 составляют от 1 ·
10-10 до 3 · 10-8.
Пределы допускаемых
относительных погрешностей ∆0 рабочих средств измерений составляют от
3 · 10-8 до 1 · 10-2.
3.2. Рабочие средства измерений 2-й части
3.2.1. В качестве рабочих средств измерений применяют измерители
линейных перемещений в диапазоне 0,01 ÷ 30000 мм, штриховые меры длины в
диапазоне 0,1 ÷ 2000
мм классов точности 0; 1; 2; 3; 4; 5; измерительные преобразователи линейных
перемещений в диапазоне 0 ÷ 32000 мм; приборы для измерений наружных и
внутренних размеров в диапазоне 0 ÷ 1000 мм; складные меры и
измерительные линейки в диапазоне 0 ÷ 1000 мм, нивелирные рейки в диапазоне 0 ÷ 4000 мм, лесные вилки в диапазоне
1 ÷ 750 мм; измерительные рулетки длиной до 50 м класса точности 1 и
длиной до 100 м классов точности 2 и 3; землемерные ленты длиной до 50 м,
мерные проволоки длиной до 24 м.
3.2.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей ∆ рабочих средств измерений
составляют от 0,05 мкм до 14 мм.
3.3. Рабочие средства измерений 3-й части
3.3.1. В качестве рабочих средств измерений применяют плоскопараллельные концевые меры
длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм классов
точности 00; 01; 0,1; 2; 3; 4; 5; контактные интерферометры с ценой деления 0,02 ÷ 0,2 мкм; преобразователи,
приборы автоматизированного контроля, средства измерений, работающие в
динамическом режиме; приборы для измерений наружных и внутренних размеров,
штангенинструмент в диапазонах 0 ÷ 2500
мм; средства автоматизированного контроля гибких производственных систем в
диапазоне 0 ÷ 500 мм; установочные кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм;
установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра
резьбы; принадлежности к концевым мерам длины (боковики).
3.3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей ∆
рабочих средств измерений составляют от 0,02 мкм до 1 мм.
ИНФОРМАЦИОННЫЕ
ДАННЫЕ
1. РАЗРАБОТАНА И
ВНЕСЕНА Государственным комитетом СССР по управлению качеством продукции и
стандартам
РАЗРАБОТЧИКИ
Е.И. Латышева (руководитель темы); Г.И. Лейбенгардт (руководитель темы); Л.Ю. Абрамова; Ц.И. Глозман;
Ю.П. Ефремов, канд. техн.
наук; В.Л. Шур, канд. техн. наук
2. УТВЕРЖДЕНА НТК
Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам
13.03.90
3.
ЗАРЕГИСТРИРОВАНА ВНИИМС 13.03.90
4. ВЗАМЕН ГОСТ 8.101-80
и ГОСТ 8.020-75
