ISO 22415:2019 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод определения коэффициентов распределения кластера аргона при измерении распределения по глубине органических материалов
Surface chemical analysis -- Secondary ion mass spectrometry -- Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials
