ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР
ЛАЗЕРЫ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ
ТИПЫ, ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
ГОСТ 25373-82
Издание официальное
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ
Москва
УДК 621.375.826.089.6:006.354 Группа Т88.4
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ЛАЗЕРЫ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ
Типы, основные параметры и технические требования
Measuring lasers. Types. Basic parameters. Technical requirements
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 3 августа 1982 г. № 3042 срок введения установлен
с 01.07.84
Несоблюдение стандарта преследуется по закону
Настоящий стандарт устанавливает типы, основные параметры и технические требования к измерительным лазерам (ИЛ) непрерывного и импульсного режима работы, предназначенным для использования в составе поверочных установок и средств измерения энергетических, спектральных, пространственных и временных параметров лазерного излучения.
1. типы
1.1. Устанавливаются следующие типы ИЛ непрерывного режима работы:
ИЛСМн — с нормированной средней мощностью излучения;
ИЛОРПМ — с нормированным относительным распределением плотности мощности излучения;
ИЛДВн — с нормированной длиной волны излучения.
1.2. Устанавливаются следующие типы ИЛ импульсного режима работы:
ИЛЭИ — с нормированной энергией импульса (пакета импульсов) излучения;
ИЛСМимп — нормированной средней мощностью импульса излучения;
ИЛММ — нормированной максимальной мощностью излучения;
ИЛЧИ — с нормированной частотой повторения импульсов излучения;
ИЛДВимп-—с нормированной длиной волны излучения;
Издание официальное Перепечатка воспрещена
© Издательство стандартов, 1982
Продолжение |
Наименование лазера |
Тип измерительного лазера (назначение) |
Длина волны излучения )\ (спектральный диапазон), мкм |
Энергия импульса, W, Дж, не менее |
Средняя мощность импульса Рср, МВт, не менее |
Частота
повторения
F1„ Гч |
Число пакетов импульсов в серии |
Длитель
ность
импульса,
с |
Относительное распределение плотности энергии, отн. сд. |
Расходимость пучка излучения, мин, нс более |
Средняя мощность излучения. Р, Вт, нс менее |
|
|
10,6 |
0,1 — 1,0 |
|
|
|
То,5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(2- 10-7— |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
—10-6) и |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
То,1; 0.9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(5- 10-8— |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
—10-7) |
|
|
|
Государственный |
ИЛОРПЭ |
0,69 |
0,001 — |
— |
_ |
_ |
(2-3) • |
о
о
СП
о |
— |
— |
специальный эталон |
|
|
-0,1 |
|
|
|
• 10-8 |
|
|
|
единицы относитель- |
|
1,06 |
0,001 — |
|
|
|
(1—4) * |
о
о
СП
о |
|
|
ного распределения |
|
|
-0,1 |
|
|
|
■ 10-4 |
|
|
|
плотности энергии в |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
поперечном сечении |
|
|
|
|
|
|
(2-3) • |
о
о
СП
о |
■— |
— |
пучка импульсного из- |
|
|
|
|
|
|
• 10~8 |
|
|
|
лучения |
|
|
|
|
|
|
(1-4) • |
о
о
СЛ
о |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
• 10"4 |
|
|
|
Образцовые нзме- |
ИЛОРПЭ |
0,69 |
о,1-1,0 |
— |
— |
— |
(2—3) ■ 10-8 |
0,05—1,0 |
— |
_ |
рители ОРПЭ и рас- |
|
|
|
|
|
|
(1—8) • 10”4 |
0,05—1,С |
3—30 |
|
ходимости |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,06 |
0,1—1,0 |
— |
— |
— |
(2-3) ■ 10-3 |
0,05—1,0 |
— |
— |
|
|
|
|
|
|
|
(1—8) • 10~4 |
0,05—1,0 |
3—30 |
— |
|
|
0,69 |
о
о
о
со |
— |
— |
|
(2-3) • 10-3 |
0,05—1,0 |
3—30 |
— |
|
|
1,06 |
о
Ъ
о
СО |
— |
— |
— |
(2—3) * 10“8 |
0,05—1,0 |
3—30 |
— |
|
Стр. 10 ГОСТ 25373-82 |
Термины, применяемые в настоящем стандарте, и определения
Воспролзводимость параметра
Характеристика способности ИЛ обеспечить значение параметра в заданных пределах в течение заданного интервала времени
Параметр, являющийся одной из характеристик ИЛ данного типа, который может быть нормиро
Дополнительные параметры измерительных лазеров непрерывного и
импульсного режимов работы
Дополнительный параметр ИЛ
ИЛСМн
ИЛОРПМ
ИЛОРПМ
ИЛОРПМ
ИЛДВН
ИЛЭИ
ИЛЧИ
ИЛЧИ
ИЛСМимд
ИЛОРПЭ
ИЛОРПЭ
Сочетание мощности и относительной нестабильности частоты излучения
Расходимость излучения
Нестабильность оси диаграммы направленности излучения Сочетание нормированного ОРПМ с нормированной расходимостью излучения и со стабильностью оси диаграммы направленности излучения Относительная нестабильность частоты излучения (для одночастного лазера)
Сочетание энергии импульса (пакета импульсов) излучения и частоты повторения импульсов излучения
Сочетание энергии импульса (пакета импульсов) излучения и частоты, повторения импульсов излучения Число пакетов импульсов в серии
Сочетание средней мощности импульса (пакета импульсов) излучения и частоты повторения импульсов излучения Расходимость излучения
Сочетание нормированного ОРПЭ с нормированной расходимостью излучения и со стабильностью оси диаграммы направленности излучения
Группа П48
Изменение № 1 ГОСТ 25373-82 Лазеры измерительные. Типы, основные параметры и технические требования
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.10.86 № 3307 срок введения установлен
с 01.01.88
Пункт 3.3.3. Заменить ссылку: ГОСТ 8.009-72 на ГОСТ 8.009-84. Приложение 1. Таблица. Головка. Заменить слова: «Расходимость излучения, мин» на «Погрешность воспроизведения, отн. ед>; таблицу для лазера ЛГ-77 изложить в новой редакции:
(Продолжение см. с. 248)
Продолжение изменения к ГОСТ 25373-82 |
Наименование
лазера |
Тип измерительного лазера (назначение) |
Длина волны излучения X (спектральный диапазон), мкм |
р»
со
о,
Q
а,
А
3
а
В
о
Я
я
я
а
Bt
0>
О |
Относительное распределение плотности мощности
роРпм-отн-ад- |
Погрешность воспроизведения, отн, ед. |
Относительная нестабильное» частоты излучения, отн. ед. |
Нестабильное» оси диаграмма направленности, град |
|
|
|
—6 |
|
—9 |
. —12 |
|
Лазер
«Стандарт У» |
ИЛДВн |
0,63 |
60-10 |
- |
МО |
МО |
1' за 8 ч работы |
|
графа «Погрешность воспроизведения, отн. ед.» Для «Государственного специального эталона единицы относительного распределения плотности мощности (ОРПМ) в поперечном сечении пучка непрерывного излучения» заменить обозначение; — на 3-10~2,
(ИУС № 1 1987 г.)
Редактор Р. С. Федорова Технический редактор Л. В. Вейнберг Корректор Л. А. Царева
Сдано в наб. 12.08.82 Подп. в печ. 15.10.82 1,0 п. л. 0,91 уч.-изд. л. Тир. 12000 Цена 5 коп.
Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, Москва, Д-557, Новопресненский пер., д. 3. Вильнюсская типография Издательства стандартов, ул. Миндауго, 12/14. Зак. 3692
Стр. 2 ГОСТ 2S373—82
ИЛОРПЭ — с нормированным относительным распределением плотности энергии излучения.
2. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
2.1. Основные параметры измерительных лазеров непрерывного режима работы должны соответствовать табл. 1.
Таблица 1 |
|
Норма для измерительного лазера типа |
Наименование параметра |
ИЛСМи
г1 |
ИЛОРПМ |
илдвн |
Воспроизводимость нормированного параметра, % |
1; 2; 5 |
4; 6 |
0,01; 0,05; 0,1; 0,2; 0,25 |
Спектральный диапазон, мкч |
0,3-12,0 |
о
■J4
o' |
0,3—12,0 (на фиксированной длине волны в диапазоне) |
Мощность, Вт |
10~4—10* |
— |
— |
Относительное распределение плотности мощности, отн.ед. |
|
о
о |
|
|
2.2. Основные параметры измерительных лазеров импульсного режима работы должны соответствовать табл. 2.
Термины, используемые в стандарте, приведены в справочном приложении 2.
Таблица 2 |
|
Норма для измерительного лазера типа |
Наименование параметра |
ИЛЭИ |
илсмнм11 |
ИЛМА1 |
илдвИМ11 |
ИЛОРПЭ |
илчи |
Воспроизводимость нормированного параметра, % |
1; 2; 5; 10 |
1; 2; 5; 10 |
1; 2; 5; 10 |
|
5; 10 |
2—3 |
Спектральный диапазон |
о
СО
ю
о |
0,3—12,0 |
0,3—12,0 |
0,3—12,0 |
0,4—12,0 |
0,53; 1,06; 1,33 |
Энергия, Дж (мощность, Вт) |
10-*—103 |
Ф
I
О |
(10-2—105) |
— |
1
0
cj
1
о |
К)-*—1C-3 (пачки им- |
|
|
|
|
|
|
пульсов) |
Длительность импульса, с |
о
1
г
о
1
ti |
Ю~9_Ю-7 |
г-
i
0
с>
1
о |
— |
10-9—10-3 |
CJ
1
0
eJ
1
о |
Частота повторения, Гц, не более |
10е |
10* |
10е |
— |
— |
1—109 |
Относительное распределение плотности энергии, отн. ед. |
— |
— |
— |
— |
0,01—1 |
— |
|
Стр. 4 ГОСТ 25373—32
2.3. Дополнительные параметры измерительных лазеров непрерывного и импульсного режимов работы приведены б справочном приложении 3.
3. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
3.1. Требования к назначению
3.1.1. Измерительные лазеры должны быть изготовлены в соответствии с требованиями настоящего стандарта, стандартов и (или) технических условий (ТУ) на измерительные лазеры конкретных типов (перечень приведен в справочном приложении 1).
3.1.2. Для измерительных лазеров необходимо установить:
нормальные условия применения, при этом значение влияющих
величин условий применения должны соответствовать требованиям ГОСТ 24469-80;
условия хранения;
предельные условия транспортирования.
3.2. Требования к параметрам и характеристикам
3.2.1. Время непрерывной работы должно быть установлено в ТУ на измерительные лазеры конкретных типов.
3.2.2. Значение максимального времени готовности должно выбираться из ряда: 1, 5, 15, 30, 60, 120 мин.
3.2.3. Время установления рабочего режима, если оно превышает 30 мин, не должно входить во время непрерывной работы измерительных лазеров.
3.2.4. Продолжительность межповерочного интервала должна выбираться из ряда: 6, 12, 18, 24, 36, 48 мес.
3.2.5. Значение основных параметров и характеристик измерительных лазеров должно сохраняться в течение времени непрерывной работы в пределах норм, установленных в стандартах и (или) ТУ.
3.2.6. В стандартах и (или) ТУ на измерительные лазеры конкретных типов должны быть схемы их включения в составе поверочных установок или средств измерений и требования к средствам обеспечения электрической энергией.
3.3. Требования к комплексам метрологических характеристик измерительных лазеров
3.3.1. Основные параметры в системе параметров, относящихся к измерительному лазеру конкретного типа, подлежат обязательному нормированию.
3.3.2. В технически обоснованных случаях допускается нормировать дополнительный параметр.
3.3.3. Способы нормирования и формы представления метрологических характеристик—по ГОСТ 8.009-72.
ГОСТ 25373-82 Стр. 5
Способы выражения пределов допускаемых погрешностей — по ГОСТ 8.401-80.
3.3.4. Комплекс нормируемых метрологических параметров и характеристик и способы их выражения должны обеспечивать возможность учета их метрологических свойств при расчете погрешностей результатов измерений, выполняемых с использованием этих измерительных лазеров. Соответствие этому требованию устанавливается на этапе государственных приемочных испытаний или метрологической аттестации.
3.4. Требования устойчивости к внешним воздействиям, н а д еж н о ст и, э р го но м и ч е с к и е и технической эстетики, удобства технического обслуживания, ремонта и хранения, транспортабельности, безопасности, стандартизации и унификации, технологичности, конструктивные требования, требования к электропитанию, электрической прочности и сопротивлению изоляции — по ГОСТ 24469-80.
4. ИЗМЕРЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Измерение параметров лазерного излучения газовых, полупроводниковых, твердотельных и жидкостных лазеров — по ГОСТ 24714-81.
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Справочное
ПЕРЕЧНИ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ЛАЗЕРОВ НЕПРЕРЫВНОГО И ИМПУЛЬСНОГО РЕЖИМОВ РАБОТЫ
Измерительные лазеры непрерывного режима работы |
Наименование лазера |
Тип
измери
тельного
лазера
(назна
чение) |
Длина волны излучения К (спектральный диапазон), мкм |
Средняя
мощность
J'cp- Вт |
Относительное распределение плотности мощности р
1 о р II м
отн. ед. |
Расходимость излучения, мин |
Относи
тельная
нестаби
льность
частоты
излуче.
ния, отн. ед. |
Нестабильность оси диаграммы направленности, град. |
Лазер ЛГ-77 |
ИЛДВн |
0,63 |
0,25- 10~б |
— |
9,3 |
1 * ю-8 |
1 |
Лазер твердотельный непрерывный с внутрирезонаторным удвоением частоты ЛТН-401 |
ИЛДВн |
0,532 |
2,5±0,5 |
— |
|
. |
_ |
Государственный первичный эталон единицы средней мощности лазерного излучения |
ИЛСМн |
0,5 |
0,08—0,8 |
|
|
|
|
Рабочий эталон единицы средней мощности лазерного излучения |
илсм„ |
0,87
0,4—12 |
0,08—0,8
0,08—2,0 |
— |
— |
— |
— |
Государственный специальный эталон единицы относительного распределения плотности мощности (ОРПМ) в поперечном сечении пучка непрерывного излучения |
ИЛОРПМ |
0,4—10,6 |
— |
0,1—1 |
— |
— |
— |
|
Продолжение |
Наименование лазера |
Тип измерительного лазера (назначение) |
Длина волны излучения X (спектральный диапазон), мкм |
Энергия импульса, W, Дж, не менее |
Средняя мощность импульса Рс р, МВт, не менее |
Частота
повторения
Г* |
: Число пакетов им- 1 |
пульсов в серии 1 |
Длитель
ность
импульса,
с |
Относительное распределение плотности энергии, отн. сд. |
Расходимость пучка излучения, мин, не более |
Средняя мощность излучения, Вт, не менее |
Лазеры твердотельные импульсного режима ЛТИ-3 |
ИЛДВи м и |
1,064 |
— |
0,5—1 |
1; 12,5; 25; 50; 100 |
|
|
То,5 (8-15) . * 10~9 |
— |
20,6 (по уровню 0,5) |
0,5—1,0 |
Лазеры твердотельные импульсного режима ЛТИ-5 |
ИЛДВими |
1,064 |
|
0,5—1 |
12,5; 25; 50; 100 |
|
|
То,5 (8-15) ■
■ ю-9 |
|
20,6 (по уровню 0,5) |
1—5 |
Лазеры твердотельные импульсного режима ЛТИ-101 |
ИЛДВими
илчи
ИЛСМимп |
1,064 |
|
|
1; 10; 20; 50; 100 и плавное изменение от 0 до 100 Гц со скважностью не менее 10 |
|
|
То,5
(0,5—1,5) •
• ю-3 |
|
22 (по уровню
0,5) |
1 • ю-4
при
Fu = = 20 Гц |
Лазеры твердотельные импульсного режима ЛТИ-401 |
ИЛДВи мп
илчи |
1,064
0,532 |
0,2
0,02 |
“ "■ |
|
|
|
25
20 |
— |
10,6
6,4 |
— |
Лазеры твердотельные импульсного режима с преобразованием частоты
лтипч-з |
ИЛДВимп |
0,532 |
|
0,1 |
1; 12,5; 25; 50; 100 |
|
|
То,5
(8-15) • • IQ"9 |
|
20,6 (по уровню 0,5) |
|
|
Тип измерительного лазера (назначение)
>>
ч
та L
s £
Яё
с
Лс<
* 5
Я 2
t- Я
3- о R sr
ж
о
ГО
я
ж
я
s
«
«
3 ж
4 S
та в
as
Энергия импульса, W, Дж, не менее
- w Ж о ж л в: ч
В ►»
<и В as U к
Частота повторения ^п, ГЦ
Длитель
ность
импульса,
с
0J 4;
О “
И Ж
Л (У
^SV £ <и ь -t =t у а
к о О s У аж и 2 ж н о-
я о О а) г та ч ж Оасл
U L w 5 Ч О 5 п
5s*u
§таЯ
dg*
а с s
5н
SpQ
gb^s ggrfS ЗЭ£ й
ао щ и и S ж ж
Лазеры твердотельные импульсного режима с преобразованием частоты
ЛТИПЧ-6
Лазеры твердотельные импульсного режима с преобразованием частоты
ЛТИПЧ-4
Лазеры твердотельные импульсного режима с преобразованием частоты
ЛТИПЧ-7
Лазеры твердотельные импульсного режима с преобразованием частоты
ЛТИПЧ-5
Лазеры твердотельные импульсного режима с преобразованием частоты
ЛТИПЧ-8
0,2
0,01
0,01
0,02
|
|
|
|
|
|
|
Ч О
"0 ' «
s « 73 |
|
о
2 - ь |
|
Тип измерп |
м « В ■а с л |
Энергия |
^_/ ^ d с а |
Наименование лазера |
тельного |
* о я |
импульса. |
о а. |
лазера (наз- |
3“"* |
W, Дж, |
|
|
начение) |
"■<1 |
не менее |
к о о К Л X |
|
|
Длина
чения
ральш
мкм |
|
X ч к >» цГ
&§|
Us? |
|
Частота
повторения |
Длитель
ность
импульса,
с
а,
2 = * х
*Э о
Ч ч
о 5 t Bt
= (у
О 0>
Z ч >*© Ч VO
со
к а>
« = я
я 2
С 2
Государственный специальный эталон единицы энергии импульсного лазерного излучения
Рабочий эталон единицы энергии импульсного лазерного излучения
илэи
Г осударственный ИЛ СМИм п
специальный эталон ИЛММ единицы мощности импульсного когерентного излучения
1,06
0,01—0,1 0,1 • 10-4 -1 ■ 10~4
То,5 (2* 10-7— —10“6) и То,1; 0,9
(5- Ю-8— —10-7)
То,5 (2- 10-7— —10-6) и
То,1; 0,9
(5- 10'-*— — 10"7)